根据我国的《洁净室施工验收规范》和国际标准 ISO 14644-4 《洁净 室的设计与施工》中的有关要求,洁净室工程援工验收的检测内容如下。静压差测试;风速或风量测试、通风机风量、转数;高效过滤器的世漏检测:温度、相对湿度、气流流型、自净时间;照度测定、防静电性能测定、噪声测定、微振测定。 若洁净室内设有商纯水、高纯气等供应系统时,还应根据建设方的要求进行商纯水、高纯气供应配管的试压、泄漏量和污染状况等的测试工作,以确保高纯水、商纯气使用点水 质、气体纯度要求。
空气洁净度等级 | 小于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m²) | ||||||||
ISO标准 | 中国标准 | 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | ||
1级 | 10 | 2 | |||||||
2级 | 一级 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||||
3级 | 五级 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |||
4级 | 十级 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |||
5级 | 百级 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | ||
6级 | 千级 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | ||
7级 | 万级 | 352000 | 83200 | 2930 | |||||
8级 | 十万级 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||||
9级 | 三十万级 | 35200000 | 8320000 | 293000 |